某半导体正确处理器正确处理器制造技术厂在晶圆粗加工时中，食用硅烷开展硅外加生长的，废气干洗塔造成高溶度含硅生活污水。生活污水具备有pH跌涨大（2-11）、硅水平高的显著特点，传统与现代正确处理具体方法易出現硅垢堵死方面。 生产废水组成成分及的来源 污废水 通常因素为： 溶解完性硅酸盐 ：SiO₂溶液浓度达1000-1500mg/L 磷酸/氢钝化钠 ：洗衣塔酸性洗衣液残余物 粒状硅 ：奈米级SiO₂电解质溶液 痕量砷 ：原材溶物进入 加工处理施工工艺注意事项 创新性应用"多级中合+膜进行过滤+蒸发器析出"工艺流程： 1级中合 ：用CaO调接pH至4-5，生产硅酸钙沉淀出的，硅清理率60%。 二次元中合 ：加Na₂CO₃将pH增强至9，更加骤沉淀出的余下硅，串并联用镁剂除砷。 超滤膜控制系统 ：0.02μm工业陶瓷膜进行过滤nm级硅颗粒肥料，通量稳定性高在80LMH。 MVR挥发器 ：浓缩液高盐废渣，结晶体出Na₂SO₄副物品，水中水回用率超90%。 结果英文成果 总硅从1500mg/L减至5mg/L有以下 砷水平从0.8mg/L减至0.01mg/L 系统无结渣运转高达2年 每月收废氢氧化钾钠纳米线约800吨