某半导手工制造中小企业因晶圆冲洗程序产生了含氨生活污水，用水量200吨/天。生活污水下除氟化物外还具有刺激性氟化物和轻微高价属，治疗麻烦大。本县排放量准则要氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理工艺部分及来历 晶圆清理废渣（基本因素）：含氟化物200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺流程焦化废水：含氢化物发生器铜、镍等天价属，pH值跌涨大 CMP打磨废液：含硅科粒及氟化物 处理加工制作工艺 工作流程 应用"物理沉淀自己+膜分离法+折点氯化"三人组合新工艺： 预办理 ：加药系统CaCl2除氟，把握pH在7.5-8. 反渗透装置模式 ：消除0.01μm这小粒物 反构建沉淀 ：将氯离子浓缩造成至1000mg/L上面的 折点氯化 ：透彻操作氯加药量，将氧化还原电位被转化为氦气 铝离子交換 ：保驾护航血本属达到标准 最终能够成果 氟化物维持＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属含锌量压低检测工具限 水循环率达75% 淤泥发生量缩短40%